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Intel - 6nm 节点的 RibbonFET GAA CMOS

Intel 展示了栅长为 6nm 的全环绕栅(Gate-All-Around, GAA)硅 RibbonFET CMOS 晶体管,并对其进行了全面表征。为了准确评估在极短栅长下的“真实”短沟道效应及其性能,开发了一种单纳米带(lNR)结构,使其源/漏区与衬底鳍

intel cmos gaa ribbonfet gaacm 2025-10-02 00:45  7